Tetramethylsilane ถูกใช้อย่างแพร่หลายเป็นสารมาตรฐานอ้างอิงในสเปกโทรสโกปีนิวเคลียร์แมกเนติกเรโซนานซ์ (NMR) สัญญาณเดี่ยวที่แหลมคมของมันทำหน้าที่เป็นจุดสอบเทียบสำหรับการวัดเคมีคัลชิฟต์ เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำในการวิเคราะห์โครงสร้างโมเลกุล นอกจากนี้ ยังถูกใช้เป็นตัวทำละลายในปฏิกิริยาเคมีต่างๆ เนื่องจากคุณสมบัติเฉื่อยและจุดเดือดต่ำ ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ มันทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในการผลิตวัสดุพื้นฐานซิลิกอนและฟิล์มบาง ความผันผวนและความเสถียรทำให้เหมาะสำหรับใช้ในก๊าซโครมาโทกราฟีเป็นก๊าซพาหะที่ไม่ทำปฏิกิริยา นอกจากนี้ ยังถูกใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกโนซิลิกอน ซึ่งจำเป็นสำหรับการพัฒนาซิลิโคนและวัสดุอุตสาหกรรมอื่นๆ