ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการ deposition ไอระเหยทางเคมี (CVD) เพื่อผลิตฟิล์มบางของวัสดุที่มีลันทาแนม ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง มีบทบาทสำคัญในการพัฒนาวัสดุไดอิเล็กทริก high-k สำหรับตัวเก็บประจุและฉนวนเกทในเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ ยังใช้ในการสังเคราะห์วัสดุเรืองแสงและฟอสเฟอร์ ซึ่งช่วยเสริมสร้างเทคโนโลยีการแสดงผลและระบบไฟส่องสว่าง การประยุกต์ใช้ยังขยายไปถึงการเร่งปฏิกิริยา ซึ่งช่วยอำนวยความสะดวกในการแปลงสารอินทรีย์ต่างๆ เพิ่มประสิทธิภาพและความเลือกในการเกิดปฏิกิริยาเคมี