ใช้เป็นสารละลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวม (IC) ในการกัดแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนเพื่อสร้างโครงสร้างที่ต้องการ เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในกระบวนการสังเคราะห์สารเคมีบางชนิด เช่น การผลิตโพลีเมอร์และสารประกอบอินทรีย์ ใช้ในกระบวนการเคลือบไฟฟ้า (Electroplating) เพื่อปรับสภาพพื้นผิวและเพิ่มประสิทธิภาพการเคลือบ เป็นสารทำความสะอาดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับกำจัดสิ่งสกปรกและสารตกค้างบนแผงวงจร ใช้ในห้องปฏิบัติการทางเคมีเป็นสารละลายมาตรฐานสำหรับการไทเทรตและการวิเคราะห์ทางเคมี