เบอริลเลียมออกไซด์ถูกใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นวัสดุกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะในอุปกรณ์ที่ต้องการการจัดการความร้อนอย่างแม่นยำ เช่น ทรานซิสเตอร์พลังงาน วงจรรวม และอุปกรณ์ไมโครเวฟ เนื่องจากมีความสามารถในการนำความร้อนได้ดีเทียบเท่ากับโลหะบางชนิด แต่ไม่นำไฟฟ้า ทำให้เหมาะสำหรับเป็นฉนวนไฟฟ้าในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมเซรามิกส์สำหรับผลิตชิ้นส่วนที่ต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและมีความแข็งแรง เช่น เครื่องมือในเตาเผา หรือชิ้นส่วนในระบบอวกาศและนิวเคลียร์ เนื่องจากมีความเสถียรภาพทางเคมีและฟิสิกส์ในสภาวะรุนแรง ในด้านการแพทย์ เบอริลเลียมออกไซด์ถูกใช้บางครั้งในวัสดุสำหรับเครื่องเร่งอนุภาคหรือแหล่งกำเนิดรังสี แต่การใช้งานต้องระมัดระวังอย่างมากเนื่องจากฝุ่นของสารนี้เป็นพิษและก่อมะเร็งหากสูดดมเข้าไป