ใช้เป็นสารตั้งต้นสำคัญในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในการเตรียมสารประกอบที่มีซิลิคอนสำหรับยาและสารเคมีเกษตร หมู่ฟังก์ชันอัลไคน์และไฮดรอกซิลช่วยให้มีปฏิกิริยาที่หลากหลาย รวมถึงปฏิกิริยาคัปปลิงและกลยุทธ์การป้องกัน/ยกเลิกการป้องกันในกระบวนการสังเคราะห์หลายขั้นตอน ใช้บ่อยในการพัฒนาโมเลกุลชีวภาพที่หมู่ไตรเมทิลซิลิลทำหน้าที่เป็นกลุ่มป้องกันหรือปรับความชอบไขมัน นอกจากนี้ยังใช้ในวิทยาศาสตร์วัสดุสำหรับสังเคราะห์โมโนเมอร์พิเศษและโพลิเมอร์ที่ถูกฟังก์ชันนาไลซ์