ใช้เป็นตัวทำให้เกิดปฏิกิริยาซิลิเลชัน (silylation) ในการสังเคราะห์อินทรีย์และวิเคราะห์ทางเคมี โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ไฮดรอกซิล (-OH) และหมู่คาร์บอกซิล (-COOH) ในระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน เช่น ในแอลกอฮอล์ ฟีนอล และกรดคาร์บอกซิลิก เพื่อแนะนำหมู่ไตรเมทิลซิลิล ซึ่งช่วยเพิ่มความระเหยและความเสถียรของสาร ทำให้เหมาะสำหรับเทคนิคการวิเคราะห์เช่น แก๊สโครมาโทกราฟี (GC) และสเปกโตรเมตรีมวล (GC-MS) โดยเฉพาะในการเตรียมอนุพันธ์สำหรับการวิเคราะห์สเตียรอยด์และคาร์โบไฮเดรต

นิยมใช้ในห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ยา ชีวเคมี และเคมีอินทรีย์ เนื่องจากให้ผลตอบสนองเร็ว และมีประสิทธิภาพสูงในการป้องกันการเกิดปฏิกิริยาข้างเคียงระหว่างการวิเคราะห์

นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวการในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมและเกษตรเคมีสำหรับการป้องกันหมู่ฟังก์ชันแบบเลือกสรร