ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นหลัก โดยเฉพาะในการผลิตตัวเก็บประจุชนิดเซรามิกที่มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูงและมีเสถียรภาพดี ด้วยคุณสมบัติเป็นวัสดุไดอิเล็กทริกที่มีค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูง ทำให้สามารถเก็บประจุไฟฟ้าได้มากในขนาดเล็ก เหมาะสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขนาดเล็กรุ่นใหม่ เช่น สมาร์ทโฟน คอมพิวเตอร์ และอุปกรณ์ทางการแพทย์

นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมออพติกส์ สำหรับทำเลนส์ แว่นตา หรือฟิล์มบางเคลือบผิวที่ต้องการการสะท้อนแสงต่ำหรือการส่งผ่านแสงสูง โดยเฉพาะในกล้องจุลทรรศน์ กล้องถ่ายภาพ หรืออุปกรณ์เลเซอร์ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการมองเห็นและลดการสะท้อนของแสง

ในงานวิจัยวัสดุขั้นสูง มักใช้เป็นชั้นฟิล์มบางในทรานซิสเตอร์หรืออุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีความเสถียรและทนต่อการกัดกร่อน นอกจากนี้ยังมีการศึกษาเพื่อประยุกต์ใช้ในแบตเตอรี่ชนิดใหม่และอุปกรณ์จัดเก็บพลังงาน

พบการใช้งานในอุปกรณ์ชีวการแพทย์เนื่องจากความเข้ากันได้ทางชีวภาพและความต้านทานการกัดกร่อน

นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นตัวพยุงตัวเร่งปฏิกิริยาและตัวเร่งปฏิกิริยาที่ใช้งานได้ในปฏิกิริยาเคมีบางประการ โดยเฉพาะในกระบวนการขจัดน้ำและการออกซิเดชัน